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发布时间:2020-07-27 08:53:06
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮与气体渗氮相比能源消耗少。由于离子氮化法利用辉光放电直接对工件进行加热。也无需特别的加热和保温设备,且可以获得均匀的温度分布,与间接加热方式棚比加热效率可提高2倍以上,达到节能效果,可大大降低处理成本。
磁控靶射频放电的阴极是电容耦合电极,阳极接地;射频电压可以穿过任何种类的阻抗,所以电极就不再要求是导体;电容耦合穿过绝缘材料或空间,电极就不再限于导电材料,可以溅射任何材料,因此射频辉光放电广泛用于绝缘或介质材料的溅射沉积镀膜。
将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电,面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压,并能产生溅射。?电容耦合型射频(RF)放电电极自给偏压的形成,可以防止绝缘层表面正电荷的积累,有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,1高时可达千伏量级。通过调节氮、氧及其他(如碳、氧、硫等)气氛的比例,可自由地凋节化合物层的棚组成,从而获得预期的机械性能。
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