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发布时间:2020-07-14 12:08:07
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮是在真空室内进行的,工件接高压直流电源的负极,真空钟单接正极。将真空室的真空度抽到66.67Pa后,充人少量氮气或氢气、氮气的混合气体。当电压调整到400~800V时,氮即电离分解成氮离子、氢离子和电子,并在工件表面产生辉光放电现象。正离子受电场作用加速轰击工件表面,使工件升温到渗氮温度。选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。氮离子在钢件表面获得电子,还原成氮原子而渗人钢件表面并向内部扩散,形成渗氮层。
辉光离子渗氮的特点有:可节约能源和氨的消耗量,电能消耗为气体氮化的1/2~1/5,氨气消耗为气体氮化的1/5~1/20。易于实现局部氮化,只要设法使不欲氮化的部分不产生辉光即可1,非渗氮部位便于保护,采用机械屏蔽、用铁板隔断辉光,即可保护。当电子能f提高,也就是增强电场的操作参数,则能使电晕放电过渡到辉光放电。
溅射靶起辉放电后,当电源的输出脉冲的重复频率足够高时,由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百HZ以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上),溅射靶起辉放电后,由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压***至较高数值,与点火起辉时的高电压接近或相同。和普通化学热处理相同,根据渗入元素的不同,有离子渗碳、离子渗氮、离子碳氮共渗、离子渗硼、离子渗金属等等。??
根据电流脉冲个数及Lisajous图形(X轴为外加电压,Y轴为放电电荷量)的不同,他们提出了区分辉光放电和丝状放电的方法,即若每个外加电压半周期内仅1个电流脉冲,并且Lisajous图形为两条平行斜线,则为辉光放电。若半周期内多个电流脉冲,并且Lisajous图形为斜平行四边形,则为丝状放电。处理温度范围较宽,即使在350℃以下也能获得一定厚度的渗氮层。
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