黑龙江实验离子氮化炉电话「在线咨询」

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

离子渗氮研究所生产的各类中高1档辉光离子渗氮炉设备已在航空、发动机曲轴、模具、轴承、工具、阀门、齿轮、工程机械、建筑机械基础件等各机械行业及大中院校得到广泛的应用，部分产品出口到东南亚、俄罗斯、美国等***和地区。

当交流电压的频率较低(50HZ~5KHZ)时，工作气体起辉点火电压与直流放电时基本相同。当电压的频率增加到中频时，起辉点火电压比用纯直流靶电源时降低很多。??双极性脉冲中频靶电源，根据有无“串联电压调整”电路有分为“工艺型”和“经济型”两种。操作比气体渗氮复杂，需要控制的厂艺参数多，测量温度和控制温度均匀比较难。?

?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2Pa)。在运行的射频辉光放电等离子体中，由于离子和电子迁移率的不同将导致阴极负偏压的形成，在阴极表面建立一个直流负偏压是进行射频溅射工艺的必要条件。??

根据电流脉冲个数及Lisajous图形（X轴为外加电压，Y轴为放电电荷量）的不同，他们提出了区分辉光放电和丝状放电的方法，即若每个外加电压半周期内仅1个电流脉冲，并且Lisajous图形为两条平行斜线，则为辉光放电。若半周期内多个电流脉冲，并且Lisajous图形为斜平行四边形，则为丝状放电。离子渗氮表面形成的渗氮层具有优异的力学性能，如高硬度、高耐磨性、良好的韧性和疲劳强度等，并使离子渗氮零件的使用寿命成倍地提高。