脉冲电源离子氮化炉电话

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

工件放人炉内作为阴极，炉体作为阳极，再通人少量氨、氮或氮亚混合气体，然后在两极间施加一定电压使氮电离，氮电离后即以髙速冲击工件，离子的动能转化为热能将工件加热至渗氮温度。

一种化学热处理炉，尤其涉及一种新型多功能辉光离子渗氮炉。该辉光离子渗氮炉包括内隔热屏，在内隔热屏内壁上装有发热体，发热体与电极间采用螺栓联接，发热体与内壁由陶瓷绝缘体隔离绝缘，绝缘体由螺栓固定在隔热屏内壁上。

溅射靶起辉放电后，当电源的输出脉冲的重复频率足够高时，由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕，第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百HZ以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上)，溅射靶起辉放电后，由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉，第二个(以后)重复脉冲的复辉电压***至较高数值，与点火起辉时的高电压接近或相同。具有高能量的氮离子轰击工件表面，由动能转化为热能加热工件，同时氮离子吸取电子还原成原子被工件表面吸收并向内层扩散。??

?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。射频磁控溅射气体放电时等离子阻抗低，工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2Pa)。??