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经营模式: | 生产加工 |
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发布时间:2020-02-05 13:50:51
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,离子氮化炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电,面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压,并能产生溅射。?电容耦合型射频(RF)放电电极自给偏压的形成,可以防止绝缘层表面正电荷的积累,有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,***1高时可达千伏量级。
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用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。?双极脉冲中频靶电源用于辉光放电?。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
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工件放人炉内作为阴极,炉体作为阳极,再通人少量氨、氮或氮亚混合气体,然后在两极间施加一定电压使氮电离,氮电离后即以髙速冲击工件,离子的动能转化为热能将工件加热至渗氮温度。
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